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第353章 历史性的突破,光刻镜面原子级

    第353章历史性的突破,光刻镜面原子级精密度杀入世界一流!(第1/2页)


    听到这个课题名,林决下意识便脱口而出,


    “周老你说的是万杰明的那个?”


    周清源点了点头,


    “这种相对冷门的课题,国内研究的人并不算多。


    老江说你当初看了遍他的论文,就指出边界条件和验证上的改进方法,想必你在这方面的建树不低吧?”


    “也还行,这个知识点并不算难.....”


    林决其实并未具体的了解过这个知识点。


    不过,他学过交换代数、同调代数、表示论、k理论等体系。


    并且还尝试将这套体系连起来过。


    所以.....


    从这些知识板块中,推演出具体的Λ-环结构、拟阵特征多项式、奇点消解的实现路径......


    不能说是手拿把掐,只能说是有手就行。


    对比起l自守函数这样等级的难题,万杰明的研究方向难度差了不止两三档。


    当然了。


    这也并非是说万杰明的研究成果就是垃圾。


    因为前段时间万杰明还发朋友圈,说他的论文已经通过了《华夏科学:数学》这个国内顶刊来着。


    这在他的领域分量还是足够的。


    “那就行,到时候到了时间我通知你,你来坐主答辩席!”


    说到这里,周清源脸上神情带着几分郑重,


    “其实这些都是给你攒攒资历的......虽然以你的天赋,其实根本不需要这些玩意儿,但能多点就多点吧,总归是没坏处......”


    如今林决在职称上,已经破格成了教授。


    不过在学校内,以此身份活动的时候并不多。


    北大此举,当然也有想将林决死死绑在自己这边的想法。


    “好的,劳你们费心了。”林决欣然同意。


    .........


    两天后。


    一大清早,林决来到光机所的时候,关于零偏映射方案的调试思路,大部门已经准备完毕了。


    在五一放假前夕。


    林决已经将算法框架,以及调试路径做了规划。


    再加上有陈望山,蒋墨等有着丰富经验的老教授协助。


    他的方案一出来,其余跟进工作效率那叫一个快。


    在假期过了三天后,光机所大部分人,已经再次投入到工作中来。


    所以才能在如今,将这套方案基本搞定。


    “林教授,您来了。”


    当看到林决走进实验室,一位正在检查风险的工作人员走过来。


    “我刚才检查完了,目前还是存在风险,在应力最小的情况下,压电陶瓷电压上限有可能击穿电路,而且产生的电流,甚至可能损伤镜面。”


    林决点了点头。


    这种情况,他在方案提出来的时候,便已经告知过核心专家组众人。


    而当时,除了一小部分人颇有微词之外。


    大部份人,都是愿意尝试尝试的。


    并且已经跟黄作平报备,出具风险责任书。


    曾经,我们的原子弹,都是在无数的试错中才搞出来的。


    光刻机如果连这点风险都不愿承担,那还如何前进!?


    想了想,林决打开调试日志,问道,


    “对了,郑工,在模拟长时间变压中,空间跳变还存在吗?”


    “目前还在,依旧有促动器跟不上,镜面发射抖动的情况。”


    林决皱了皱眉,这就是工艺材料带来的不可避免的问题。


    虽然光控制得很好,但因为损耗和发热,会导致不可避免偶尔出现光路闭环发散情况发生。


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    “行吧辛苦了,等会儿人到齐了,我们再测试一下。”


    “好的。”


    说罢,林决来到机器旁检查一番。


    不多时。


    陈望山,蒋墨等核心专家组成员到齐。


    又一轮测试开始了。


    林决站在指挥处,“各个工位,报一下状态。”


    “光源系统就位。”


    “真空系统就位。”


    “光路系统准备好了......”


    “132路驱动自检通过。”


    “数据采集开始,开吧。”


    “......”


    这一个月以来,众人已经跑过许多流程。


    如今已有了相当默契。


    所以只用了不到十五分钟,整机流程便完成了“开机”!


    “滴!”


    随着林决按下总开关。


    核心主机,光源系统,大型离子束抛光机,超精密光学加工机床等大型设备,开始发出工业轰鸣。


    与此同时。


    林决将本次测试核心部件,也就是132路电压驱动打开。


    在屏幕上,代表着电压值的电子光柱亮了起来。


    【函子上电中......】


    【输出正常】


    【促动阵列响应正常】


    【镜面形变进行预设范围】


    【闭环开始.....】


    随着这个提示出现。


    林决看到左上角偏振对比度开始急速拉高。


    【0.16nmrms.....】


    【0.18nmrms.....】


    【0.25nmrms.....】


    这个结果,已经比之前测试的还要糟糕。


    但林决和在场众人,却未有任何慌张之感。


    因为下一刻......


    那代表着偏振对比度数值。


    又开始在零偏映射算法控制下,开始如同过山车一般骤降!!!


    【0.10nmrms......】


    【0.11nmrms......】


    【0.10nmrms......】


    【0.13nmrms......】


    机器的轰鸣依旧在继续,并且在高电压下,一些设备,甚至是在超频状态下完成负载!


    它们的服役生涯会缩短,损耗会加大,甚至在某一刻,忽然就冒出黑烟,然后报废......


    大力虽能出奇迹。


    但也是把双刃剑,在长时间强电压超频的状态下工作,会对设备本身就造成损耗。


    其直接......


    可能会是几亿,甚至十几亿以上......


    但此刻。


    那些好像都已经不太重要了!


    因为......


    整个实验室都看到了曾经想都不敢想的一组组数据!!


    这代表着,他们在镜面工艺情况落后于国外的情况下,依旧靠着算法镀膜,靠着控制电压驱动的方法......


    将反射原子级平整度精度,达到了国际标准的0.15nmrms以内!!


    甚至从结果上来看......


    还能偶尔跑到0.10超精密优秀指标中去!


    此时此刻。


    造出5~7nm电路的镜面镀膜问题,光面平整度问题......


    第一次在这片大地上被解决了......
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