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第354章 胡闻洲:回旋镖来得太快就像龙

    第354章胡闻洲:回旋镖来得太快就像龙卷风(第1/2页)


    两人说话的时候。


    核心专家组的众人目光,也都带着几分期许聚焦在了林决身上。


    按理说.....


    这种事情是不该就指望林决一个人来的。


    要不然的话,不显得他们没用了吗?


    但是吧......话又说回来了。


    目前为止,林教授的方案完全没毛啊!


    确实比他们提供的好太多了!


    特别是林氏函子光学变式,在测试中的表现,完全刷新了众人对euv多层膜误差控制的认知!


    紧接着,众人便见台上的林决轻轻一笑,


    “确实。”


    闻言,陈望山不由得笑了出来。


    至于房怀年几人,则是满脸讶异。


    这小子......还真他娘是个人才啊!


    整机闭环没跑完,你也敢提前做优化方案?


    万一中间有超出预料的事情发生,那你不白干了吗?


    不过.....


    他们不知道的是,林决早已经通过胡老的手稿,在脑海中做过工程预演。


    虽然最后他推演出来的数据,会和现实数据有着一定误差。


    但却能够清晰的看到问题在哪里......


    之后。


    等整机闭关流程结束。


    只需要通过相应的数据,再进行调整的就行。


    两边同时进行。


    还能够省下一部分时间。


    当初面对胡闻洲时,他说他会让胡老看到那台能够和世界一流水平并驾的光刻机。


    所以必须争分夺秒了。


    而现在。


    整机跑完,结果出来。


    果然......


    由于映射输出端的频率太快,在高电压情况下光路产生偏振,误差也就随之增大了......


    在得到林决回答后,卢敬尧立马好奇问着,


    “用的什么方法,压频率还是降电压?亦或者通过控制曝光来解决?”


    林决轻轻一笑,当即给否了,“都不选。”


    “???”


    “???”


    “???”


    蒋墨侧过头看着他,又是好奇又是疑惑,


    “都不选?那你想干啥?”


    按照他们搞了大半辈子研究的惯性思维来讲。


    目前只能调控这三个变量,然后再根据整机环境,慢慢做进一步调整。


    林决平静开口,


    “我们花了二十多天,把误差从1.2压到0.18,现在又为了高电压下的稳定性,再退回去吗!?


    我不想这样做......”


    会议室安静下来。


    所有人目光放在林决身上。


    于志明皱眉,


    “那您的意思是......”


    林决并未回答。


    只是在电脑打开一个文档,然后将把132路的驱动时序图调了出来。


    此时大屏幕上,无数表示着方波的红点全挤在一处。


    “你们看,132路同时跳会如何呢?”


    他点了下鼠标,旁边弹出三行数据。


    【电源瞬时跌落:4.3%】


    【通道间串扰:2.1%】


    【镜面局部应力:增大】


    “在这种情况中,串扰和镜面局部应力增大,会导致双折射出现,然后产生偏振,出现误差。”


    蒋墨想了想,也提出想法,“那要不将电压器错开呢?”


    陈望山很快便摇了摇头,


    “不行......错开只能解决电源和串扰,解决不了应力,因为应力是叠加态,就算错开,总应力依旧存在。”


    房怀念笑道,


    “老陈说得对,这方面蒋墨你不是专家,还是别提意见了。”


    (本章未完,请点击下一页继续阅读)第354章胡闻洲:回旋镖来得太快就像龙卷风(第2/2页)


    蒋墨有点恼火的翻了个白眼,不过还是闭嘴,不再多言。


    紧接着。


    在众人目光中。


    林决将原本的画面切掉,新的优化方案出现在众人眼前.......


    “好了,大家先看这个......”


    ........


    同一时刻。


    协和病房。


    胡闻洲独自靠在病床上,看着眼前电脑上的电压排布,眉头不由皱起。


    前几天。


    当他听说实验室已经开始整机流程后,便也在同步做着模型改进.....


    而现在他看到,在整个模型跑完后,当电压达到某个临界值时,会反馈到镜面局部应力增大上。


    按照经验。


    他几乎是下意识判断出来,这种变化,最后会导致波前误差增大。


    “光机所的设备会压不住模型输出端的变化?林决的模型竟然能优秀到这种程度吗?”


    虽然有些难以置信。


    但看着电脑上显示的结果,胡闻洲还是不由得失笑摇头。


    与此同时。


    他心中也默默打算。


    得在中午吃饭的时候,跟所里说说这个情况。


    “至于改进方案......”


    “从整套流程来看,可以从输出频率出发,然后再通过降电压和控制曝光,将这三个指标控制在相对稳定的状态......”


    “但如此一来。”


    “原本可能达到0.15nmrms的精度,只能稳定在0.20左右了。”


    “不过,即使是这个数据,林决也做得足够好了......


    拥有0.20nmrms精度的指标,再通过多重曝光,应该已经可以造成7nm以内的芯片。


    就算不能量产,那也是巨大的进步了。”


    能在一个月内,就将光机所研究了许多年的多层膜问题解决,已经足够说明林决的潜力。


    至于更进一步。


    胡闻洲笑着摇头,


    “总不能光靠林决,就想着把产业链代差问题也搞定了吧?”


    ........


    中午的时候。


    胡闻洲给黄所那边打了个电话过去。


    然后得到消息是.....核心专家组正在开会。


    具体一点,是发现整机流程中,出现了波前误差偏振问题,在高电压下,极限误差会来到0.24nmrms。


    “果然如此吗?”


    胡闻洲没有一点意外,


    “这样吧,你让老陈开完会给我打个电话。”


    说着,他看了看电脑上的方案初步构想,


    “就说波前误差解决的方法,我有点想法要跟他交流交流。”


    “行......”


    ........


    下午三点半。


    陈望山的电话打到了胡闻洲手机上。


    “老胡,你有事找我?”


    电话中,陈望山一边吃着午饭,一边问着。


    “是的,我听说所里第一次整机闭环流程出了点问题?”


    “哦,你说那个啊,林决已经解决了啊,我们明天就开始改。”


    “啊!?”


    胡闻洲一时愣在原地。


    看了看电脑上方案初稿。


    这只是他的一个想法而已,而且还要花许多时间,才能补充完整,然后再进行推进的。


    但现在呢?


    陈望山说他们已经解决了!?


    “对!林决的想法非常妙,核心专家组在听完后,全体一致通过!现在黄所那边,估计已经在签字了吧。”


    胡闻洲愣在原地,张了张嘴,想说什么却说不出来。


    回旋镖来得太快就像龙卷风啊.....
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